Penyelesaian titanium tetra dimethylamino

Tetra (Dimethylamino) Titanium adalah sebatian kimia dengan formula Ti (NME2) 4. Ia adalah kompleks koordinasi titanium dengan empat ligan dimethylamino. Kompaun ini biasanya digunakan sebagai prekursor untuk pemendapan filem nipis yang mengandungi titanium dalam pelbagai aplikasi, termasuk peranti semikonduktor dan sel solar.

Dalam konteks pemendapan filem nipis, titanium tetra (dimethylamino) boleh digunakan dalam proses pemendapan wap kimia (CVD) atau pemendapan lapisan atom (ALD). Dalam CVD, sebatian itu dikuap dan kemudian bertindak balas dengan gas prekursor yang sesuai untuk membentuk filem pepejal pada substrat. Di ALD, sebatian ini secara berurutan bertindak balas dengan prekursor lain dengan cara yang membatasi diri untuk membentuk filem nipis dengan kawalan yang tepat terhadap ketebalan dan komposisinya.

Secara keseluruhannya, Titanium Tetra (Dimethylamino) adalah sebatian penting dalam bidang sains bahan dan digunakan secara meluas dalam fabrikasi filem nipis untuk pelbagai peranti elektronik dan optoelektronik.